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氦質(zhì)譜檢漏儀是一種利用氦作為氣體泄漏的質(zhì)譜儀，用于用氣體分析儀檢測(cè)氦氣。它是國(guó)內(nèi)外真空容器檢漏的技術(shù)。與一般的檢漏技術(shù)相比，氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)更快.準(zhǔn)確.靈敏度高，無(wú)損傷。
氦質(zhì)譜檢漏儀表的示蹤氣體也可以是其他元素。但由于青島高純氦氣具有以下特點(diǎn)，所以通常選擇氦氣：
1.空氣中的氦氣含量很小，只占20萬(wàn)分之一，容易發(fā)現(xiàn)；
2.氦分子小.質(zhì)量輕.易擴(kuò)散.比其他氣體更容易穿越漏洞；
3.氦離子荷質(zhì)比小，便于質(zhì)譜分析；
4.氦是無(wú)毒的.無(wú)味，對(duì)大氣無(wú)污染。
5.氦是惰性氣體，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會(huì)腐蝕和損壞設(shè)備；
6.氦氣無(wú)毒，不凝結(jié)，難容納水。
由于氦氣具有上述特性，氦氣泄漏檢測(cè)的應(yīng)用已從科研機(jī)構(gòu)應(yīng)用到工業(yè)企業(yè)甚至個(gè)體企業(yè)?？梢哉f(shuō)，應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛。
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